Nombor Model: JXA-8230
pengeluar: JEOL
Lampiran: Spektrometer (*3), Spektrometer Energi (*1)
Unsur analisis: B-U
Resolusi: 3nm

Proba elektron adalah alat yang menggunakan sinar-X ciri yang dihasilkan selepas sampel daripada sinar elektron untuk analisis komponen mikrozona yang boleh digunakan untuk menganalisis komposisi kimia mikrozona mineral dalam lembaran tipis. Selain unsur-unsur ringan seperti H, He, Li dan Be, unsur-unsur selepas unsur U juga boleh dilakukan analisis kualitatif dan kuantitatif. Boleh melakukan titik, imbasan garis, analisis imbasan muka.

Contoh: Hasil pengukuran permukaan EPMA serbuk bateri