• Ketepatan tinggi ± 1.0% titik tetapan
  Lineariti pengawal aliran jisim ini diimbangi oleh lengkung pendekatan polynomial dan mencapai ketepatan yang tinggi dalam julat kawalan aliran. Untuk meningkatkan ketepatan gas sebenar, data pengukuran gas proses yang berbeza diukur oleh sistem pengukuran gas standard HORIBA STEC.
• Tindakbalas berkelajuan tinggi
  Memasang "sistem PID berubah-ubah" untuk menjalankan tindak balas 1 saat antara mana-mana dua titik tetapan. PID berubah sentiasa berubah mengikut tetapan titik aliran. Mengoptimumkan pekali PID apabila aliran skala penuh dan gas berubah.
• Penyelesaian pelbagai gas/skala
  Perisian konfigurasi boleh mengubah spesifikasi dengan cepat dan mudah. Ciri penting adalah bahawa perubahan boleh dilakukan tanpa perlu melepaskan pengawal aliran jisim dari panel kawalan gas atau paip. Mengurangkan jumlah pengawal aliran kualiti gantian yang diperlukan, menjimatkan masa dan kos.

Pengawal aliran massa SEC-Z500X sesuai untuk pelbagai aplikasi dan pembuatan semikonduktor.