Peralatan rawatan permukaan plasma suhu rendah terdiri daripada ruang vakum dan bekalan kuasa plasma frekuensi tinggi, sistem vakum pam, sistem kembung, sistem kawalan automatik dan sebagainya. menjadi. Prinsip asas kerja adalah dalam keadaan vakum, peranan plasma dalam kaedah kawalan dan kualitatif dapat mengionisasi gasVakum mencapai tahap vakum 30-40pa, kemudian di bawah peranan penjana frekuensi tinggi, gas diionisasi dan membentuk plasma (keadaan keempat bahan), ciri-ciri yang ketara adalah pelepasan cahaya seragam yang tinggi, mengikut gas yang berbeza yang mengeluarkan cahaya yang kelihatan dari warna biru hingga ungu gelap, suhu pemprosesan bahan mendekati suhu bilik. Ini sangat aktif zarah mikro dan perawatan permukaan berpengaruh, mendapatkan permukaan hidrofili, tahan air, geseran rendah, pembersihan tinggi, pengaktifan, ukiran dan pelbagai perubahan permukaan.

Parameter teknikal

1 danSaiz peralatan: 450mm*400mm*240mm

2 danSaiz gudang vakum: Φ151×300(L)mm （5L）

3 danStruktur gudang: Ruang keluli tahan karat, terbina dalam elektrod gandungan kandungan, tiada pencemaran, terbina dalam palet kuarsa.

empat,penjana plasmaFrekuensi radio, kuasa 0-300W disesuaikan, perlindungan litar penuh, kerja lama berterusan (penyejukan udara).

lima,Sistem kawalan: skrin sentuh PLC kawalan automatik penuh, menggunakan Omron, Schneider dan komponen elektrik jenama import, terdapat dua mod kawalan manual dan automatik, skrin sentuh warna sebenar, pengawal boleh diatur Siemens (PLC), sistem pengesan tekanan vakum Amerika Syarikat, boleh menetapkan dalam talian, mengubah suai, memantau tekanan vakum, masa pemprosesan, kuasa plasma dan parameter proses lain, dan mempunyai penggera kegagalan, penyimpanan proses dan pelbagai fungsi. Tetapkan pelbagai parameter proses dalam mod automatik untuk memulakan dengan satu klik dan menjalankan berulang secara berterusan. Mod manual digunakan untuk proses eksperimen serta penyelenggaraan dan pembaikan peralatan.

Proses proses:

1 danProses pemprosesan Muat bahagian kerja→ Mempam vakum → menembus ke dalam gas tindak balas → plasma pelepasan rawatan → gas rebound → mengeluarkan workpiece

2 danKawalan proses:

Kawalan masa pemprosesan: 1 saat ~ 120 minit boleh disesuaikan secara berterusan.

2.2 Tekanan pelepasan plasma: 30 ~ 50Pa.

Julat tetapan kuasa: 0 ~ 300W boleh laras secara berterusan.

Julat tetapan aliran: Gas 1 (0 ~ 300ml / min) Gas 2 (0 ~ 500ml / min).

Fungsi perisian PLC (antara muka pengendalian)

Skrin utama: pemantauan masa nyata dan memaparkan keadaan operasi dan data, kuasa bekalan plasma, aliran gas, suis injap, tekanan vakum, masa operasi dan lain-lain.

Tetapan parameter: Anda boleh menetapkan dan mengubah suai parameter proses dan langkah-langkah.

Status kerja: boleh melihat data dan keadaan dalam talian seperti tekanan vakum, kuasa plasma.

Penggera kegagalan: pelbagai pengesanan kegagalan, penggera dan perlindungan saling mengunci .

Aplikasi pengikat cip PDMS

PDMS dan kesan pengikat slaid

Eksperimen pengeluaran selepas mengikat,PDMS juga tidak dapat dipisahkan daripada slide selepas merobek, dan lapisan ikatan yang kelihatan jauh lebih kuat daripada PDMS itu sendiri. Proses sistem ini mudah, kadar selesai yang tinggi, kelajuan pengikat yang cepat, kekuatan yang tinggi, tidak akan berlaku kebocoran cecair.