Tujuan penyelenggaraan ICP:
1) mengesan kegagalan alat pada masanya;
2) menyemak peralatan yang tersembunyi, mengesan pada masanya dan mencadangkan langkah-langkah pencegahan;
3) melalui penyelenggaraan instrumen, meningkatkan kepekaan instrumen dan memanjangkan hayat perkhidmatan instrumen;
4) meningkatkan kestabilan instrumen untuk memastikan ketepatan data ujian;
Kandungan penyelenggaraan peralatan ICP:
1) Membersihkan semua papan litar, kipas dan habuk permukaan instrumen
2) Membersihkan nebulizer, bilik nebulisasi, kerucut lampu dan paip obor
3) Ganti air kitaran penyejukan, bersih paip
4) sambungan paip vakum, suis injap solenoid semakan kedap menyelaraskan kedudukan celah sinar
5) Pemeriksaan prestasi pam vakum, menggantikan minyak pam, kedap, saringan molekul
6) Semak tiada kebocoran antara silinder gas ke ICP, kelayakan litar ditentukan
7) Semak gas instrumen, sensor gas bantuan, pembersihan
8) Penyelenggaraan penghapusan debu penjana frekuensi tinggi RF, penyelenggaraan bilik vakum
9) Menjawab soalan masalah pengguna