Algoritma kawalan mencapai kawalan aliran yang stabil dengan mengawal nisbah aliran sambil mengawal tekanan aliran atas FS-3000 menggunakan teknologi pengoptimuman kawalan HORIBA STEC. Di samping itu, walaupun nisbah pengalihan berubah, algoritma kawalan boleh mencapai tindak balas kelajuan tinggi terhadap pengalihan.

• Meningkatkan skalabiliti dan prestasi penyelenggaraan. FS-3000 boleh memisahkan sehingga 15 saluran melalui pemprosesan isyarat berkelajuan tinggi. Sekiranya MFC gagal, anda hanya perlu menukar mesin yang gagal.

• FS-3000 menyokong pelbagai jenis gas termasuk campuran gas. FS-3000 juga menyokong antara muka pengguna seperti RS-485 dan DeviceNet.