Tujuan Pemeriksaan EDX:
1) mengecualikan risiko kegagalan alat, mengurangkan kadar kegagalan alat
2) Meningkatkan kepekaan, ketepatan dan prestasi peralatan, supaya peralatan boleh beroperasi secara stabil, selamat dan cekap dalam jangka panjang
3) Mempanjang hayat peralatan, memaksimumkan kesan penggunaan peralatan.
Kedua,EDXSemak kandungan yang diselenggarakan:
1) Periksa sama ada bekalan kuasa EDX, wayar tanah, kipas dan lain-lain adalah normal
2) mengesahkan bahawa peranti perlindungan sinar-X, kamera CCD, suis penutup bilik sampel adalah normal
3) membersihkan habuk dalaman EDX, membersihkan sampel meja
4) membersihkan minyak pelinciran lebihan pada bar spiral gudang sampel
5) Ganti suis mikro, cincin 0 dan spring
6) Tambah nitrogen cecair untuk mengesahkan suhu pengesan normal
7) mengesahkan sama ada sisa voltan muatan tiub sinar-X normal, untuk pemeriksaan kualitatif, kuantitatif dan pembetulan
8) Semak jika fail komputer anda berlebihan dan kesan kelajuan pembukaan yang tidak biasa
9) Komunikasi teknikal dengan pengguna, latihan operasi instrumen dan perhatian
10) mengikut kandungan pemeriksaan, mengeluarkan laporan pemeriksaan instrumen