Spektrometer jisim kawalan proses Atonarp Aston ™ Spesifikasi teknikal:

Alat universal untuk kawalan proses masa nyata, gas tahan kakisan, tahan pengendalian
Platform analisis molekul in situ untuk pembuatan semikonduktor yang menyediakan data yang boleh dioperasikan dalam masa nyata
Menggunakan sumber ionisasi plasma, tanpa wayar lampu, lebih tahan lama
Boleh diintegrasikan sepenuhnya dengan alat pengeluaran jumlah besar
Aston ™ Penganalisis Spektrum Massal ProsesSebagai platform yang kuat, ia boleh menggantikan pelbagai alat tradisional yang menawarkan tahap kawalan yang belum pernah berlaku sebelumnya, termasuk photogravure, etching dan sedimen dielektrik dan konduktif, pembersihan bilik, sepadan bilik dan pencernaan.

Aston ™ Penganalisis Spektrum Massal ProsesParameter teknikal

Atonarp Aston™ Aplikasi: Pembangunan utama dalam kawalan dan pengoptimuman proses semikonduktor, meningkatkan pengeluaran, aliran dan kecekapan proses pembuatan semikonduktor
Aston ™ Adalah spektrometer massa dalam talian padat yang direka semula baru dan tahan lama untuk pemantauan dan kawalan gas dalam pembuatan semikonduktor dan aplikasi kawalan proses perindustrian, ketepatan kuantitatif dan masa nyata yang tinggi digabungkan dengan kekuatan dan kebolehpercayaan pengeluaran seperti analisis pengesanan eksos pam kering semikonduktor, yang memungkinkan pemantauan dalam talian, diagnosis.
CVD / ALD: Transisi oksida-nitrida dan analisis komponen
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: mengenal pasti molekul pengesanan


Jika anda memerlukan maklumat lanjutAtonarp Aston ™ Spektrometer massa dalam talianUntuk maklumat lanjut atau perbincangan, sila rujuk butiran hubungan berikut:
Shanghai Betong: Cik Ye Taiwan Betong: Cik Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( WeChat 同号 ) M: +886-939-653-958

Sekarang sebahagian daripada jenama merekrut ejen kerjasama, yang berminat dialu-alukan untuk menghubungi Puan Baidong Ye Shanghai 1391-883-7267
Shanghai Betong Hak Cipta Terpelihara, Salinan!